




产品简介

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博远微朗(北京)技术发展有限公司深耕真空镀膜设备领域,专注实验室真空镀膜设备的研发、生产与销售,聚焦电镜制样、薄膜科研两大核心场景,为全国各大高校、科研院所、第三方检测实验室及企业研发中心,提供稳定可靠、高性价比的小型溅射镀膜整体解决方案。其中SD-900M磁控溅射仪是公司针对实验室轻量化科研、教学、检测需求打造的专用设备,主打低温低损伤、成膜细腻可控、操作便捷安全的核心优势,是SEM样品前处理、小型薄膜沉积实验的优选设备。



一、设备工作原理
SD-900M磁控溅射仪依托成熟的磁控溅射核心技术运行,利用磁场洛仑兹力改变电子运动轨迹,让电子呈现螺旋式长距离运动,大幅提升电子与工艺气体的碰撞概率,有效提升腔体内部等离子体密度,显著加快溅射镀膜速率。设备可在低电压、低气压的温和工况下完成镀膜作业,从源头减少薄膜杂质混入,保障镀层纯净度。同时,沉积原子能量适中,制备的薄膜结构致密、厚度均匀,且高能电子经过多次能量碰撞后快速衰减,避免样品基底因高温受损,适配热敏、易碎、柔性等各类特殊样品的制样需求,弥补了传统镀膜设备高温损伤样品的短板。
二、核心技术参数
该设备参数配置贴合实验室科研与教学场景,兼顾精准度与实用性,各项规格参数稳定均衡,具体明细如下:
参数项目 | 详细规格 |
整机外形尺寸 | 300mm×360mm×380mm(宽×深×高),体积小巧,不占实验空间 |
标配/可选靶材 | 标配Pt铂靶;可选Au金、Ag银、Cu铜、Ir铱等多种金属靶材 |
靶材及靶头规格 | 靶材φ50mm、厚度0.1mm,靶头φ50mm,适配常规镀膜需求 |
腔体结构 | 透明玻璃样品室,内径160mm×高度120mm,可视化作业 |
样品承载台 | φ70mm大直径样品台,支持多样品同步加工 |
极限真空度 | ≤4×10⁻² mbar,真空环境稳定,保障镀膜品质 |
电气参数 | 直流溅射电压0-1600 DCV,溅射电流0-100mA,参数调节范围广 |
镀膜性能 | 镀膜速率0~60nm/min连续可调,有效镀膜面积50mm,镀层颗粒4~20nm精准可控 |
计时系统 | 数码定时器,0~999s精准控时,保障镀膜厚度均匀一致 |
气路配置 | 微型真空阀,适配φ3mm软管,可通入多种惰性工艺气体 |
配套设备 | 标配VD-L型机械泵,抽真空稳定高效 |
三、产品核心优势
• 高性价比,稳定耐用:整机结构精简优化,零部件故障率极低,设备采购成本、后期运维成本远低于大型工业镀膜设备,是高校实验室、中小型科研团队电镜制样的经济型刚需设备,长期使用稳定性优异。
• 低温镀膜,适配广域样品:采用低能电子设计,镀膜过程中样品基底无明显升温,规避高温损伤问题,可安全完成塑料、生物样品、高分子材料、柔性薄膜等各类温度敏感材料的镀膜作业。
• 成膜可控,颗粒细腻均匀:可自由调节溅射电流、腔体真空压强,精准把控镀膜速率与镀层颗粒尺寸。搭配多种金属靶材切换使用,可制备超细、致密、无杂质的导电涂层,满足高精度科研观测需求。
• 高效镀膜,适配多样品作业:配备50mm大有效镀膜区间与φ70mm超大样品台,支持多片样品同步喷镀加工,大幅提升批量实验、教学实训的工作效率,节省实验耗时。
• 镀层纯净,工艺灵活可调:通过通入氩气等惰性气体隔绝空气杂质,配合预设工艺参数功能,可有效避免镀层氧化、产生杂点,成膜致密纯净,适配高分辨SEM观测标准,同时可根据实验需求灵活调整工艺方案,拓展多种镀膜实验。
• 智能防护,操作安全便捷:内置真空保护联锁系统,真空度不达标时自动切断溅射电源,杜绝高压短路、设备故障等风险。支持压强、溅射电流提前预设,一键启动等离子体镀膜,简化操作流程,避免人工误操作损伤样品与设备。
• 可视化作业,调试直观高效:采用透明玻璃腔体设计,实验人员可全程实时观察内部等离子体溅射状态,根据镀膜效果快速微调工艺参数,大幅降低实验调试难度,提升实验成功率。
四、主流应用场景
设备适配多领域实验室科研与教学场景,通用性强,核心应用范围涵盖三大板块:
• SEM电镜样品前处理:针对非金属、陶瓷、矿物、生物、高分子等绝缘样品,开展喷金、喷铂导电层制备工作,有效消除电镜观测中的荷电效应,大幅提升成像清晰度与观测精度,是电镜实验室预处理设备。
• 电化学电极制备:可在各类基底表面溅射金、银等优质导电薄膜,制作微型实验电极,广泛应用于电化学分析、传感材料研发、新能源材料测试等科研工作。
• 高校科研与教学实验:可完成纳米薄膜、金属复合膜、催化涂层等基础薄膜沉积实验,适配材料、电子、地质、环境、生物等多个专业的科研实验与课堂实训,同时可通过更换靶材、调整工艺气体,开展表面改性、金属薄膜沉积等拓展实验。
五、供货与售后服务政策
1. 商务供货条款
付款方式为合同签订后、发货前全款预付;货款到账后5个工作日内完成发货,供货时效稳定;收款后20个工作日内开具13%增值税专用发票,票据服务规范;全程由厂家承担物流运费,免费送货至客户指定地点,降低采购成本。
2. 质保与增值服务
设备享受整机2年质保服务,质保期内正常使用出现故障,优先提供远程线上技术指导,快速解决设备故障;若远程无法修复,支持客户寄回厂家检修,往返运费均由厂家承担。同时,可按需提供上门安装、实操培训服务,客户仅需承担技术人员差旅费用。设备享有技术支持,包含工艺参数指导、靶材耗材供应、故障咨询等服务,为长期实验工作保驾护航。
六、适用客户群体
设备精准适配各大高校材料学院、地质学院、环境学院、电子工程学院、理化检测中心、第三方检测实验室、企业研发实验室、职业院校教学实训实验室等各类科研与教学场景,是中小型实验室低成本、高效率开展真空镀膜与电镜制样工作的核心设备。
产品总结:SD-900M磁控溅射仪凭借低损伤、细颗粒、可视化、高性价比的核心优势,一键可控等离子体镀膜技术,高效解决SEM样品荷电难题,适配绝大多数实验室低温镀膜需求,是科研教学、样品检测的优质选型。

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