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基础喷金设备
产品简介

基础喷金设备:设备依托成熟的二极溅射技术,主打皮实耐用、操作极简、参数稳定、高性价比,是实验室常规SEM制样、基础导电镀膜、教学科研实验的经典主力设备。

产品型号:ETD-2000
更新时间:2026-09-16
厂商性质:生产厂家
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基础喷金设备简介:

       在标准低真空工作环境下,电场驱动电子高速运动,撞击氩气等工作气体激发产生均匀等离子体;等离子体内部正离子经电场加速后,稳定轰击贵金属靶材表面,使靶材原子有序脱离、均匀沉积在样品表面,形成致密、附着力优异、厚度均匀的纳米级导电薄膜。

       相较于磁控溅射复杂结构,本机二极溅射架构精简可靠、故障率极低、运维成本微小,无需复杂磁路调试,可在≤4×10⁻²mbar低真空环境下持续稳定作业。设备针对实验室小型常规样品预处理场景专项优化溅射参数,工艺成熟、重复性高,操作门槛极低,是通用镀膜设备的经典基础方案。


基础喷金设备特点:

1、轻量化桌面设计,小巧便携

      采用一体化桌面极简结构,整机尺寸300mm×360mm×380mm,重量约35Kg,相较同类设备减重50%,机身轻盈便携。设备占地面积不足0.2㎡,可灵活放置于实验室台面、角落、通风橱旁,安装部署简单,适配各类小型紧凑实验室空间。

2、 优质镀膜配置,成膜均匀稳定

     搭载Φ50mm×0.1mm一体化高纯铂靶材,靶材纯度≥99.99%,相较金银靶材具备更强的化学稳定性与耐腐蚀性,适配高频实验与高标准检测场景。支持Au、Pt、Ag三种贵金属镀膜,内置二极溅射专属优化参数,无需反复调试即可直接调用,工艺适配度高。有效溅射面积达Φ50mm,精准匹配小型样品尺寸,无镀膜材料浪费,溅射均匀性偏差≤±5%,成膜致密均匀、附着力强。高透光硼硅酸盐玻璃样品室,支持镀膜全过程实时可视化观测,实验状态清晰可控。

3、精准电控调控,安全稳定不伤样

      设备电控系统针对二极溅射工艺专优化,最高工作电压-1600DCV,最大工作电流50mA,从参数层面规避电流过大导致的样品灼伤、结构损伤问题,适配各类常规样品、热敏样品镀膜。电流稳定度高达±0.1mA,输出平稳精准,标准溅射速率7nm/分钟,膜厚均匀可控。搭配0-999s秒级精准定时器,电源、冷却、控制系统联动运行,大幅提升工艺稳定性与实验重复性。设备采用常规220V市电供电,配备过载、过压双重安全防护机制。

4、高效真空系统,快速制样效率高

       搭载高精度皮拉尼真空计,测量范围覆盖1×10⁻³-1×10³mbar,经低真空场景专项校准,显示精度可达±0.01mbar,可长时间稳定维持≤4×10⁻²mbar标准工作真空度,保障镀膜均匀性与附着力。标配专属微型真空气阀,可接驳φ3mm软管通入惰性保护气体,进一步提升成膜纯度与品质。搭配适配性佳的2L/S小型机械泵,仅需3-5分钟即可完成抽真空作业,快速完成样品预处理,大幅提升实验室制样效率。


       设备适配常规SEM电镜制样、微电子器件改性、基础医疗耗材预处理、高校教学科研等通用场景,是实验室基础镀膜设备中口碑好、性价比高、实用性强的经典机型。

 


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