
产品简介
高真空蒸发镀膜仪简介:
SD-100AF采用大抽速分子泵高真空系统,机架电控一体化落地式设计,整体布局紧凑合理,兼顾稳定性与空间利用率。核心采用电阻式蒸发原理,通过大电流加热钼舟支架上的镀膜材料,使其在高真空环境下快速蒸发,均匀沉积于样品表面,可获得致密性、附着力俱佳的镀膜效果,适配高精度镀膜需求。
主要结构
• 真空腔体:核心承载部件,保障高真空镀膜环境
• 真空获得系统:涡轮分子泵+前级机械泵,搭配防返油与过滤装置,确保真空清洁度
• 蒸发镀膜系统:钼舟支架、电极组件,实现镀膜材料精准加热蒸发
• 电气控制系统:集成控制,实现真空度、加热功率等参数调控
高真空蒸发镀膜仪技术参数:
参数类别 | 详细规格 |
仪器尺寸 | 800mm(W)×550mm(D)×1300mm(H),落地式布局,占地面积适中 |
工作腔室 | 玻璃腔体,直径280mm,高度350mm,视野清晰,便于观察镀膜过程 |
真空系统 | 涡轮分子泵(抽速600L/s),前级机械泵(抽速4L/s),带防返油电磁阀及油污过滤器;极限真空5×10⁻⁵Pa,工作真空5×10⁻⁴Pa,复合真空计实时监测 |
电气与加热参数 | 工作电压AC 220V/50Hz(风冷),最大电流100A,最大电压10V,加热功率1000W;2对电极,支持多材料同步蒸发 |
其他配置 | 手动操作模式,可镀材料为金、银、碳等;膜厚仪为选配配件 |

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