
产品简介
桌面型磁控溅射仪简介:
一款专为实验室精密样品处理、微电子加工、医疗耗材制备打造的桌面型高精度低温镀膜设备。依托优化低真空磁控溅射核心技术,打破传统蒸镀设备高温损伤、膜层不均、附着力弱的痛点,以小型化机身、稳定的等离子溅射工艺、精准可控的纳米镀膜效果,兼顾高效性、安全性与通用性,全面适配多领域高精度镀膜需求,是科研成像、精密器件表面改性的核心配套设备。
技术优势:
低温无损,镀膜更精准稳定
设备采用成熟的低真空磁控溅射喷金技术,通过磁场精准束缚电子运动,让电子在电场与磁场协同作用下高频撞击氩气等工作气体,稳定激发产生等离子体。等离子体正离子加速轰击高纯度贵金属靶材,使靶材原子均匀剥离、沉积于样品表面,形成致密、均匀、附着力强的纳米级导电薄膜。
相较于传统镀膜设备,SD-900M无需高温加热靶材,全程低温镀膜可杜绝样品热损伤,适配热敏性样品处理;专属优化磁路设计,可在≤4×10⁻²mbar低真空环境下稳定工作,无需高真空复杂工况,既简化设备操作、缩小设备体积,又保障±5%以内的超低镀膜均匀性偏差,镀膜质量超传统工艺。
桌面型磁控溅射仪亮点:
小巧便携,智能高效易操作
1. 桌面极简设计,占地小、易部署
整机尺寸300mm×360mm×380mm,重量仅40Kg(含真空泵),占地面积不足0.2㎡,无需专用实验室空间,桌面即可放置部署,适配各类实验室、小型生产线的安装使用需求,灵活度高。
2. 优质配置,镀膜工艺稳定,可获得好的薄膜效果
搭载Φ50mm高纯铂靶(纯度≥99.99%),支持金、银、铂三种贵金属镀膜,溅射面积大、利用率高;高透光硼硅酸盐玻璃样品室,可实时直观观察镀膜全过程;标配2L/S小型机械泵,3-5分钟即可从大气抽至工作真空度,处理效率大幅提升。
3. 精准可控,适配多样品需求
搭载高精度皮拉尼真空计,精准覆盖1×10⁻³-1×10³mbar真空量程,真空度稳定可控;0-999S秒级精准定时器,可按需调节镀膜时长,标准溅射速率达40nm/分钟,膜层厚度均匀可控。可选配电冷系统,针对性保护超薄膜、超长溅射、超高热敏样品,实现全品类样品兼容。
4. 安全稳定,适配长期作业
采用220V常规市电供电,无需专用工业电源,配备过载、过压双重防护机制,搭配微型精密真空气阀,可稳定接入惰性保护气体,设备运行安全可靠,故障率低,满足实验室高频次、常态化使用需求。

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