溅射蒸碳仪：双功能共享一套真空系统与控制系统，无需更换设备即可完成两种预处理工艺，大幅提升样品处理效率与兼容性。

Name: 溅射蒸碳仪SD-900C
Brand: VPI/博远微朗
Availability: InStock

产品型号：SD-900C

更新时间：2026-09-17

厂商性质：生产厂家

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溅射蒸碳仪简介：

SD-900C集成直流溅射与碳纤维绳热蒸发蒸碳双功能，属于物理气相沉积（PVD）复合技术范畴，是通用单一功能设备无法替代的专属方案。喷金功能采用直流溅射原理，在≤4×10⁻²mbar低真空环境下，氩气被电离产生等离子体，正离子高速轰击铂靶表面，使铂原子均匀沉积形成致密导电薄膜；喷碳功能采用定制化碳纤维绳热蒸发技术，通过28V高压、100A大电流瞬时加热碳纤维绳，使其快速蒸发并沉积为超薄碳膜，膜层厚度可通过0-1s精准定时控制。双功能共享一套真空系统与控制系统，无需更换设备即可完成两种预处理工艺，大幅提升样品处理效率与兼容性。

应用场景：

1、科研检测领域

适配扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）样品预处理，喷金适用于陶瓷、塑料等常规绝缘样品，喷碳针对生物组织、超薄材料、冷冻样品等热敏/对膜厚敏感的样品，可避免电子积累与样品损伤，保障高倍镜下精准成像，是考古文物、生物样本微观分析的设备。

2、材料研发领域

用于高分子材料、纳米材料、碳纤维复合材料的表面改性，喷碳可制备高附着力碳膜，提升材料导电性与光热转化效率；喷金可制备贵金属电极，适配传感器、光电器件等研发需求，兼顾多材料、多场景实验需求。

3、生物医疗领域

针对含水生物样品、医用耗材进行预处理，喷碳膜层薄且生物相容性佳，可避免影响样品活性；喷金用于生物传感器等耗材的电极制备，保障检测信号稳定传输，适配精准医疗研发与生产。

4、高校教学领域

适配材料、电子、生物专业教学与科研，可直观展示溅射与热蒸发两种PVD技术原理，设备操作简单、体积小巧，能快速完成小批量样品实验，兼顾教学演示与科研创新需求，是高性价比复合型教学设备。

溅射蒸碳仪参数：

参数类别	详细规格
整机结构	1、采用主机+副机分体式设计，主机尺寸300mm×360mm×380mm、副机300mm×360mm×140mm（W×D×H）， 2、总重40Kg，副机专属承载热蒸发模块，主机集成溅射与真空系统，布局优化且占用空间仅0.22㎡，较同类复合设备体积缩减40%，适配实验室紧凑空间，一体化复合结构无通用替代方案。
样品室与双功能系统	1、样品室尺寸160mm×120mm（D×H），采用高透光硼硅酸盐玻璃，可实时观察双功能镀膜过程。 2、溅射面积Φ50mm，蒸碳面积70mm。
靶材与蒸发材料	标配Φ50mm×0.1mm高纯度铂（Pt）靶材（纯度99.99%），溅射均匀性偏差≤±3%；蒸发材料采用专属碳纤维绳，耐高温、蒸发速率稳定，相较于石墨蒸发源，碳膜纯度更高、附着力更强，且与热蒸发模块精准适配。
溅射与蒸碳控制参数	1、溅射参数：最高电压-1600DCV，最大电流50mA，电流稳定度±0.1mA，标准溅射速率40nm/分钟， 0-999s定时器秒级调控； 2、蒸碳参数：最高电压28V，最大电流100A， 0-1s瞬时加热控制，可精准制备10-50nm超薄碳膜。
真空与气路系统	皮拉尼真空计，测量范围1×10⁻³-1×10³mbar，显示精度±0.01mbar，可稳定维持≤4×10⁻²mbar工作真空度；专属微型真空气阀可连接φ3mm软管，可连通惰性气体提高成膜质量，保障双功能真空环境稳定性。
动力与冷却系统	1、标配2L/S机械泵，与双功能系统适配性佳，运行噪音≤55dB，从大气抽至工作真空度仅需3-5分钟； 2、冷却系统标配风冷，效率较通用风冷提升25%。
靶体配置	1、标配二极直流溅射靶，满足常规喷金需求； 2、选配磁控靶（适配后溅射电流可达100mA），磁控靶采用专属磁路设计，溅射速率较二极靶提升30%。